中EN
留言板
發(fā)送
首頁(yè)
產(chǎn)品及應(yīng)用
服務(wù)與支持
關(guān)于我們
聯(lián)系我們
SiC晶圓
激光退火 | LA
SiC晶圓激光退火 | LA
應(yīng)用領(lǐng)域
SiC晶圓歐姆接觸制備
產(chǎn)品特點(diǎn)

  • 國(guó)內(nèi)首家通過(guò)量產(chǎn)驗(yàn)證

  • 成熟穩(wěn)定、可靠性好

  • 全自主光學(xué)系統(tǒng)，LIET專利光學(xué)整形技術(shù)

  • 綠光、紫外兩種波長(zhǎng)可選

型號(hào)LA2515UVLA2540/2550S
晶圓尺寸6寸、8寸
光斑尺寸X:100~500μmY:100~500μm
最大激光能量密度Green:10J/cm2UV:6J/cm2
比電阻接觸率~10-5Ω·cm2
氧含量控制≤10ppm